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內(nèi)容簡(jiǎn)介:　　《微納機(jī)電系統(tǒng)力學(xué)/普通高等教育“十三五”規(guī)劃教材》在簡(jiǎn)述微納機(jī)電系統(tǒng)技術(shù)發(fā)展的基礎(chǔ)上，從物理基本力入手，針對(duì)微納機(jī)電系統(tǒng)的力學(xué)環(huán)境，先后介紹了靜電力、電磁力、范德瓦爾斯力、卡西米爾力、毛細(xì)力在微納尺度下的作用規(guī)律。針對(duì)微納系統(tǒng)結(jié)構(gòu)，介紹了電容靜電力、布朗力、阻尼力對(duì)微納結(jié)構(gòu)系統(tǒng)的作用特性和影響規(guī)律。在微納結(jié)構(gòu)材料的尺度效應(yīng)分析基礎(chǔ)上，分別以微機(jī)械振動(dòng)陀螺系統(tǒng)、微振動(dòng)俘能器系統(tǒng)為典型案例介紹了受力分析方法、系統(tǒng)建模方法以及機(jī)電耦合的動(dòng)力學(xué)分析求解方法。此外，針對(duì)納米尺度的結(jié)構(gòu)，在介紹碳納米管結(jié)構(gòu)、原理及應(yīng)用的基礎(chǔ)上，介紹了碳納米管的力學(xué)相關(guān)特性及分析方法。
　　《微納機(jī)電系統(tǒng)力學(xué)/普通高等教育“十三五”規(guī)劃教材》適用于普通高等院校機(jī)電、力學(xué)類(lèi)相關(guān)專(zhuān)業(yè)的本科生及研究生使用。

作者簡(jiǎn)介:

目錄:第1章 微納機(jī)電系統(tǒng)MEMS／NEMS及其物理力學(xué)
1．1 微納機(jī)電系統(tǒng)MEMS／NEMS
1．2 微機(jī)電系統(tǒng)的材料和微加工技術(shù)
1．3 物質(zhì)的構(gòu)成及物理基本力
1．4 微納機(jī)電系統(tǒng)中的物理力學(xué)

第2章 電荷及電偶極子的靜電力
2．1 庫(kù)侖定律
2．2 電場(chǎng)、電場(chǎng)強(qiáng)度、電勢(shì)
2．3 電偶極子
2．3．1 電偶極子的電場(chǎng)
2．3．2 電偶極子電場(chǎng)中的電勢(shì)
2．4 電多極子與電勢(shì)的多極展開(kāi)
2．4．1 單極子項(xiàng)
2．4．2 偶極子項(xiàng)
2．4．3 四極子項(xiàng)

第3章 電磁力
3．1 洛倫茲力
3．1．1 帶電粒子在均勻磁場(chǎng)中的運(yùn)動(dòng)
3．1．2 帶電粒子在非均勻磁場(chǎng)中的運(yùn)動(dòng)
3．2 安培力
3．2．1 安培力的定義
3．2．2 安培力的微觀(guān)解釋
3．2．3 載流導(dǎo)線(xiàn)在磁場(chǎng)中所受到的磁力
3．2．4 載流線(xiàn)圈在磁場(chǎng)中所受到的磁力矩
3．2．5 平行載流導(dǎo)線(xiàn)間的相互作用力
3．3 電磁感應(yīng)定律
3．3．1 電動(dòng)勢(shì)
3．3．2 法拉第電磁感應(yīng)定律
3．3．3 動(dòng)生電動(dòng)勢(shì)和感生電動(dòng)勢(shì)

第4章 范德瓦爾斯力
4．1 偶極子產(chǎn)生的電場(chǎng)
4．2 離子與電場(chǎng)間的相互作用能及作用力
4．3 偶極一偶極相互作用能
4．4 角平均的偶極相互作用
4．5 偶極一誘導(dǎo)偶極相互作用
4．6 I，ondon一范德瓦爾斯力（色散力）
4．7 極性分子間總的范德瓦爾斯相互作用
4．8 物體間的范德瓦爾斯力

第5章 卡西米爾力
5．1 卡西米爾力提出的背景
5．1．1 “零點(diǎn)能量”及卡西米爾力的探索
5．1．2 卡西米爾效應(yīng)的進(jìn)一步研究
5．2 卡西米爾力
5．2．1 卡西米爾力
5．2．2 卡西米爾效應(yīng)
5．2．3 卡西米爾力的量子力學(xué)闡釋
5．3 金屬板間的卡西米爾力及做功
5．3．1 兩平行導(dǎo)電金屬板之間的卡西米爾力
5．3．2 兩平行移動(dòng)的平行平面的卡西米爾力
5．3．3 平板間距離變化時(shí)卡西米爾力做功
5．4 卡西米爾力對(duì)微加速度計(jì)性能的影響

第6章 毛細(xì)力
6．1 毛細(xì)現(xiàn)象
6．2 基本概念及毛細(xì)原理
6．2．1 基本概念
6．2．2 毛細(xì)原理
6．3 毛細(xì)模型
6．3．1 表面張力
6．3．2 接觸角與潤(rùn)濕現(xiàn)象
6．3．3 拉普拉斯方程
6．4 毛細(xì)力在平行板間的作用
6．4．1 液橋毛細(xì)力理論
6．4．2 兩板間的黏附力模型

第7章 微結(jié)構(gòu)靜電場(chǎng)分析
7．1 無(wú)限大平板模型
7．2 考慮邊緣效應(yīng)模型
7．2．1 基于分離變量法得到的級(jí)數(shù)解
7．2．2 基于保角變換計(jì)算式
7．2．3 考慮極板厚度時(shí)的邊緣效應(yīng)
7．2．4 邊緣效應(yīng)模型對(duì)比與分析
7．3 非平行平板電容器的電容計(jì)算
7．4 梳狀結(jié)構(gòu)電容的拐角效應(yīng)

第8章 布朗力與噪聲
8．1 隨機(jī)過(guò)程的統(tǒng)計(jì)分析
8．2 能量均分原理
8．3 布朗運(yùn)動(dòng)現(xiàn)象與噪聲（布朗力）
8．4 硅微陀螺機(jī)械熱噪聲
8．5 電容加速度計(jì)熱噪聲
8．6 電子熱噪聲
8．7 PN結(jié)的散粒噪聲

第9章 阻尼力
9．1 氣體微流動(dòng)的基本概念及流區(qū)分類(lèi)
9．2 流體動(dòng)力學(xué)基本方程及邊界條件
9．2．1 應(yīng)力應(yīng)變張量
9．2．2 流體動(dòng)力學(xué)基本方程
9．2．3 邊界條件
9．3 壓膜阻尼
9．3．1 雷諾方程
9．3．2 氣體壓膜阻尼的求解
9．3．3 幾種常見(jiàn)結(jié)構(gòu)的阻尼力解
9．3．4 氣體壓膜阻尼的擠壓效應(yīng)
9．3．5 其他因素對(duì)壓膜阻尼力的影響
9．4 滑膜阻尼
9．4．1 滑膜阻尼基本方程
9．4．2 圓柱質(zhì)量塊結(jié)構(gòu)的氣體阻尼
9．4．3 無(wú)限大、薄多孔板間氣體壓膜阻尼分析

第10章 微尺度效應(yīng)
10．1 圓柱顆粒的分析
10．2 微結(jié)構(gòu)力學(xué)基本方程
10．2．1 平衡方程
10．2．2 本構(gòu)方程
10．3 微梁彎曲

第11章 微機(jī)械諧振陀螺的動(dòng)力學(xué)特性
11．1 陀螺哥氏效應(yīng)
11．2 微機(jī)械陀螺的動(dòng)力學(xué)方程
11．3 微機(jī)械梳齒式陀螺的靜電驅(qū)動(dòng)力
11．4 動(dòng)力學(xué)方程求解及討論
11．4．1 常值角速度下檢測(cè)系統(tǒng)位移解
11．4．2 諧變角速度下檢測(cè)系統(tǒng)的位移解
11．4．3 一般變角速度下檢測(cè)系統(tǒng)的位移解
11．5 多質(zhì)量塊音叉式微陀螺的動(dòng)力學(xué)方程
11．5．1 雙質(zhì)量塊音叉式微陀螺的動(dòng)力學(xué)方程
11．5．2 四質(zhì)量塊音叉式微陀螺的動(dòng)力學(xué)方程

第12章 微振動(dòng)俘能器動(dòng)力學(xué)
12．1 壓電俘能系統(tǒng)的基本方程
12．1．1 壓電材料本構(gòu)方程
12．1．2 柱體壓電塊振動(dòng)壓電系統(tǒng)的基本方程
12．1．3 附著梁上的壓電層振動(dòng)壓電系統(tǒng)的基本方程
12．2 懸臂梁式壓電俘能系統(tǒng)
12．2．1 準(zhǔn)靜態(tài)振動(dòng)模型（單自由度sDOF模型）
12．2．2 動(dòng)態(tài)振動(dòng)模型
12．3 電極的布置
12．3．1 在上下表面布滿(mǎn)導(dǎo)體作為兩電極
12．3．2 在上表面間隔開(kāi)布置兩電極
12．4 振動(dòng)梁式靜電俘能系統(tǒng)的基本方程

第13章 碳納米管力學(xué)
13．1 碳納米管結(jié)構(gòu)、性能及應(yīng)用
13．1．1 碳納米管的結(jié)構(gòu)
13．1．2 碳納米管的特性及應(yīng)用
13．2 碳納米管結(jié)構(gòu)力學(xué)
13．2．1 連續(xù)介質(zhì)力學(xué)方法
13．2．2 分子結(jié)構(gòu)力學(xué)方法

參考文獻(xiàn)