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2020-02-17 14:32 來源：京東作者：京東

內(nèi)容簡介: 《硅片加工技術》主要從實際工藝的角度對硅片生產(chǎn)全過程進行了比較系統(tǒng)詳細的介紹，包括硅單晶的基本特性和晶體結構，硅片生產(chǎn)設備的種類、性能及其使用方法，硅單晶從滾磨與開方、切割、研磨、拋光、清洗一直到檢驗包裝的整個生產(chǎn)過程與管理，其中針對太陽能硅片的生產(chǎn)有適當?shù)慕榻B，通過這些介紹，旨在使讀者能夠對硅片生產(chǎn)有一個全貌的認識，能具備硅片生產(chǎn)工藝與檢驗的基本知識，對各種設備儀器和工藝過程有所了解，有條件時可以通過實習掌握部分設備儀器的使用技能。 《硅片加工技術》可作為高職高專太陽能光伏產(chǎn)業(yè)硅材料技術專業(yè)的教材，同時也可作為中專、技校和從事硅片生產(chǎn)的企業(yè)員工的培訓教材，還可供相關專業(yè)工程技術人員學習參考。

目錄:緒論 0.1 硅 0.2 硅單晶 0.3 硅片 第1章晶體滾磨與開方 1.1 晶體與磨削加工 1.2 硅片主、副參考面的制作 1.3 滾磨開方設備 1.4 滾磨開方工藝過程 本章小結 習題 第2章晶體切割 2.1 硅單晶晶體結構 2.2 硅單晶的定向切割 2.3 硅單晶切割工序相關硅片參數(shù) 2.4 硅單晶內(nèi)圓切割工藝 2.5 硅單晶多線切割工藝 本章小結 習題 第3章硅片研磨 3.1 硅片邊緣倒角 3.2 硅片研磨工藝及其設備 3.3 硅片熱處理 本章小結 習題 第4章硅片拋光 4.1 硅拋光片特性參數(shù) 4.2 硅片的化學減薄 4.3 硅片拋光方法和設備 4.4 硅片拋光工藝過程 本章小結 習題 第5章硅片清洗 5.1 硅片清洗基本概念 5.2 硅片清洗處理方法 5.3 硅片清洗工藝 5.4 純水制備系統(tǒng)簡介 5.5 化學試劑的安全使用 本章小結 習題 第6章硅片檢驗與包裝 6.1 硅片檢驗基本知識 6.2 硅片電學參數(shù)檢驗 6.3 硅片表面取向檢驗 6.4 硅片幾何參數(shù)檢驗 6.5 硅片表面質量檢驗 6.6 硅片氧化誘生缺陷檢驗 6.7 硅片檢驗設備舉例 6.8 硅片包裝與運輸 本章小結 習題 第7章硅片生產(chǎn)管理與質量控制 7.1 硅片生產(chǎn)過程管理 7.2 硅片生產(chǎn)現(xiàn)場管理 7.3 硅片生產(chǎn)工序控制 7.4 硅片生產(chǎn)質量分析 本章小結 習題 附錄Ⅰ硅片生產(chǎn)加工名詞術語 附錄Ⅱ硅片生產(chǎn)加工相關標準 參考文獻

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